在中国科学院2011年度修缮购置专项的支持下，依托北京物质科学大型仪器区域中心，中科院物理所获批建设“亚埃级物质结构分析平台”。在院主管部门的支持下，项目组经过两年时间，克服了种种困难，圆满完成了平台的建设任务。该平台包括一台先进的双球差校正冷场发射电子显微镜，并配有最新一代电子能量损失谱仪、X射线能谱仪和电子全息装置。此外，为配合球差校正电镜特殊、苛刻的样品制备需求，平台还配置了双束聚焦离子束刻蚀机、离子减薄仪、全自动精确楔形抛光仪等设备。
球差校正电子显微技术在原有的透射电镜基础上，添加了球差校正器，使得分辨率提高到亚埃量级，可以获得原子尺度上晶体结构与电子结构的精确表征。随之而来也要求电镜实验室的安装环境达到更高的标准，为此，实验室还特别安装了配套的主动减震、主动磁屏蔽、以及冷辐射面板。技术验收结果表明，该电镜扫描透射模式分辨率优于0.78埃，能量分辨率优于0.3电子伏。
该电镜配有最新一代电子能量损失谱仪、X射线能谱仪和电子全息装置。可以实现亚埃分辨率下对结构与物性的精确测量：包括原子尺度缺陷结构的物理化学性质测定、轻元素（锂、碳、氮、氧）的直接观测、精细电子结构的测定、表界面结构与物性、器件与异质结构有效的精确表征等。此外，电镜还预留有多种外场调控下原位表征等手段，以实现对凝聚态物理前沿科学中一系列相关结构与电子结构等问题的综合、精确表征。
目前平台已顺利通过验收并开始试运行，欢迎广大研究人员和工程技术人员前来进行结构分析测试和开展合作研究。
图1：电镜实验室室内装修以及电镜安装图。采用特殊设计，以满足高规格环境要求，包括低频振动小于0.3微米，磁场强度变化小于30纳特斯拉，6小时内温度波动小于0.05度。
图2：Si<112>方向原子结构图。其中相距为78皮米的硅哑铃状原子结构单元可以被清晰分辨。
