LIGA和光刻系统

仪器名称

LIGA和光刻系统（物质区域中心）

型    号

非标

仪器编号

ihepB5400,B5522

仪器来源

非标

生产厂商

中国科学院高能物理研究所

启用日期

2009/11/19

仪器类别

微纳结构制作系统

仪器原值

10000000

所在单位部门

中科院高能物理研究所多学科中心

仪器负责人

伊福廷

联系电话

010-88235983

地      址

北京市石景山区玉泉路19号乙13号厅207

邮    编

100049

E-mail

yift@ihep.ac.cn

主要技术指标

无

包含主要附件

无

仪器主要功能

X射线光刻

仪器服务领域

微纳机械系统

计量认证资质

否

实验室认可

是

仪器现状

正常

收费标准

免费

仪器图片